バキュームポンプ
＜例＞バキュームポンプデータ
バキュームポンプ、空間内の気体を排出し、真空状態を作り出すための装置です。さまざまな種類があり、用途によって使い分けられます。
バキュームポンプの種類
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ロータリーポンプ（油回転ポンプ）
- 低真空～中真空を作るのに適している
- 機械加工や半導体製造に使われる
- 作動油が必要
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ドライポンプ
- オイルフリーでクリーンな真空を作れる
- 化学産業や食品産業に適している
- スクリューポンプやスクロールポンプなどの種類がある
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ターボ分子ポンプ
- 高真空を作り出せる（10⁻³～10⁻⁷Pa）
- 半導体や研究施設で使用
- 前段にロータリーポンプが必要
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拡散ポンプ
- 超高真空を得るためのポンプ
- オイル蒸気を利用し分子を飛ばして排気する
- 半導体製造や電子顕微鏡に利用
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クライオポンプ
- 低温でガスを凝縮・吸着させて排気
- 超高真空を得るのに適している
- 半導体製造装置や加速器に使われる
用途
- 産業用途：半導体製造、食品包装、化学プロセス
- 医療・研究：電子顕微鏡、分析機器
- 自動車：ブレーキブースターの真空源
- 冷凍・空調：エアコンの真空引き
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